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나의 머릿속54

[13] 공정 관련 기초 5, 포토공정, Etch공정 포토공정, Etch공정 ( Photolithography, Etching ) 미세 공정에서 Dry Etch를 많이 사용하는 이유? 또는 Ethching 공정에 대해 설명하세요. 키워드 : 식각, 습식식각, 건식식각, 등방성 식각, 비등방석 식각 스토리 라인 : 식각공정은 포토공정에서 형성한 감광막 (PR) 패턴을 마스크로 사용하여 하부막을 식각하여 원하는 회로패턴을 완성시키는 공정이다. 식각공정에는 습식식각과 건식식각이 있다. 습식식각은 화학용액을 사용해서 화학반응이 일어나는 물질을 제거하는 방법이어서 화학용액이 접촉하는 곳에서 등방성으로 식각이 진행된다. 따라서 식각 후 패턴도 경계면에서 박막이 원형으로 식각이 진행되는 등방형 식각이다. 이 경우 식각 패턴은 포토공정에서 정의한 모양보다 작아지고 패턴 .. 2020. 11. 10.
[12] 공정 관련 기초 4, Oxidation CVD ALD PVD Oxidation, CVD, ALD, PVD 무어 이론을 지속시킬 반도체 공정 신기술은? - 무어의 이론을 추구하기 위한 기술로는 증착 분야에선 ALD와 High-K 프리커서 재료기술이, 노광 분야에선 EUV가 대표적으로 거론된다. DRAM분야에선 핵심 요소인 커패시터이므로 재료를 증착하는 ALD 장비의 혁신 역시 필요하다. 배선 공정 진행시 Al이 아닌 Cu를 사용해야 하는 이유는 무엇인가? 증착 공정을 진행했는데, 증착 표면이 균일하지 못하다면 점검해야 할 포인트와 해결방안을 제시해보세요. 키워드 : 배선공정, Al, Cu, 비저항, 식각, 다마신 스토리 라인 : 반도체 배선공정은 웨이퍼 상에 형성된 각 소자를 전기적으로 연결시켜주는 도선을 형성하는 공정이다. 따라서 전도성이 좋은 금속을 배선으로 사.. 2020. 11. 9.
서울대학교 반도체 공정 실습 - 이론편 서울대학교 반도체 공정 실습 - 이론편 직접 팹 안에 들어가서 웨이퍼를 만져볼 기회가 주워지지 않아서 여러 공정실습 업체에 대해서 알아보던 찰나에 좋은 기회가 생겼다. 서울대학교에서는 1년에 3번 일반인, 학부생들을 대상으로 반도체 공정 이론수업 및 실습을 진행한다. 다른 사설기관이나 학교에서도 반도체 장비들을 직접 구입하여 학생들이 직접 실습을 해보도록 하는 곳이 많아졌다. 그렇지만 중국 우한 폐렴 바이러스로 인해 번번하게 스케쥴이 밀리던 찰나에 서울대학교에서 11월달에 반도체 교육을 진행한다는 사실을 접하게 되었고 서울대학교 홈페이지를 자주 들어가보면서 신청기간에 맞게 대기했다. 처음에는 선착순으로 인원을 통제하는 줄 알고 아침 9시에 맞춰서 수강신청 하듯이 11번째로 교육신청을 하였다. 그렇지만 나.. 2020. 11. 8.
[11] 공정 관련 기초 3, 진공 플라즈마 진공, 플라즈마 플라즈마에 대해 설명하세요 키워드 플라즈마, 제 4의 물질 상태, 이온화된 가스, 이온, 전자, 중성 입자, 라디칼, 에치, 스퍼터링, CVD 스토리라인 플라즈마는 고체, 액체, 기체로 구분하는 물질의 3가지 상태와 비교해서 또다른 제 4의 물질 상태 라고 얘기할 수 있다. 다시 말해 기체 상태의 분자나 원자가 이온화되어 양이온과 전자가 섞여 있지만 전체적으로는 중성 상태인 이온화된 기체 상태이다. ( 우리가 매일 보는 태양의 경우도 플라즈마의 일종인데 태양의 플라즈마는 모든 원자가 이온화되어 있는 매우 높은 상태의 고온 플라즈마이다. ) 우리가 반도체 공정에서 사용하는 플라즈마는 방전 현상을 이용하여 만든 것으로 백만 개의 기체 분자 중 한개 정도가 이온화되어 있는 이온화율이 낮은 상태.. 2020. 11. 8.

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