wafer공정1 [9] 공정 관련 기초 이제 본격적으로 반도체 공정파트로 들어가보자. 여러 기업 반도체 공정관련 회사들을 지원할때 매우 핵심적인 개념들이다. 반도체를 만드는 공정은 전공정과 후공정 파트가 이 두가지 공정을 들어가기 전에 이 과정은 어디서 이루어질까? 바로 입자, 온도, 습도, 실내 공기압 등이 제어되는 밀폐된 공간이다. 이곳을 우리는 Clean Room이라고 부른다. 여기서는 앞으로 배울 Photo공정에 광학적 영향을 덜 주는 노란색 파장이 나오는 곳에서 작업을 한다. 참고로 노란색과 빨간색은 장파장이다. 따라서 단파장이 제거된 곳에서 작업을 한다고 이해한다면 쉽다. 빛 뿐만아니라 Clean Room에서는 공조과정이 천장과 바닥에서 이루어져 입자들을 철저하게 제어한다. 1입방피트당 0.5um입자의 개수를 Clean Room별로.. 2020. 11. 7. 이전 1 다음
