반도체 진공1 [10] 공정 관련 기초 2 chamber : wafer를 안에 두고 진공, 열, 가스등 필요한 변수들을 제어할 수 있는 공간 cluster : 일반적인 양산 설비로 chamber들의 복합체 (Integrated Cluster Tool이라고도 부른다.) 아래 그림을 보면 이해하기 쉽겠지만 chamber < process chamber < cluster 의 범위를 갖는다. chamber안에서는 진공을 잡는 것이 중요하다. 진공이란 대기압보다 낮은 압력으로 기체가 채워있는 공간으로 pump에 gas 불순물을 제거하고 주입하고 배기하면서 압력을 낮춘다. 그렇다면 왜 진공을 잡는 것이 중요할까? 1. 낮은 분자밀도를 유지하고 불필요한 gas를 배기하기 위함 2. Mean Free path (평균 자유 행로) 확장을 통한 안정적인 plasm.. 2020. 11. 7. 이전 1 다음
